Diese Geräte wurden wurde für die Überwachung ultrareiner Umgebungen entwickelt und bieten eine Nachweisempfindlichkeit von 10 nm bei einem Luftdurchsatz von 2,8 l/min (bzw. 0,1 Kubikfuss pro Minute; CFM). Dank seiner geringen Dimensionen lässt sich das Gerät in Geräten für Halbleiterprozesse einsetzen. Ohne weiteres ist der Einsatz in Reinräumen der ISO-Klasse 1 möglich.
Kontakt
CAS Clean-Air-Service
Reinluftweg 1
CH-9630 Wattwil
https://www.pmeasuring.com